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中砂（1560）

台積電A16製程　CMP拿下八成訂單的他

台積電A16製程　CMP拿下八成訂單的他

隨台積電A16製程導入晶背供電技術（Backside Power Delivery, BSPD），對CMP拋光耗材中的鑽石碟提出更高規格要求，預料將帶動市場量價齊揚。業界分析，BSPD製程關鍵在於於極薄晶圓背面進行高精度研磨以形成電源布線層，技術挑戰包括壓力控制、避免刮傷與缺陷、以及提升拋光均勻性，這對鑽石碟在鍍層強度、表面粗糙度可調性及壓力控制方案等面向提出新一輪升級需求。

2025/08/16 01:00