台德合作！ASML供應商　助攻台灣半導體設備打2兆市場

2020/09/02 23:50:00

記者戴玉翔／台北報導

今（2）日工研院與台灣機械工業同業公會及世界雷射應用領導品牌德國創浦集團（TRUMPF）攜手成立「台灣半導體與電子產業先進雷射應用服務中心」，德國創浦集團是艾司摩爾（ASML）EUV設備雷射源的供應夥伴，在雷射源及工具機的產值皆為全球前三。搭配國產客製化的大銀微平台與工研院的製程光路模組，為台灣半導體設備商更添戰力。

▲今（2）日工研院與台灣機械工業同業公會及世界雷射應用領導品牌德國創浦集團（TRUMPF）攜手成立「台灣半導體與電子產業先進雷射應用服務中心」（圖／工研院提供）

因應5G與高效能運算先進製程商機，半導體設備產業需求強勁，根據國際半導體產業協會（SEMI）估計，今（2020）年市場規模可望成長6%，達632億美元（約新台幣1.85兆元），明年更有機會一舉突破700億美元（約新台幣2兆元）。

工研院與台灣機械工業同業公會及德國創浦集團三方於今日舉行合作意向書（MOU）簽約儀式，由機械公會理事長柯拔希、台灣創浦總經理鄭勇志及工研院協理吳誠文代表簽約，經濟部部長王美花與德國經濟辦事處處長林百科（Axel Limberg）出席見證台德兩國於半導體設備產業合作的歷史時刻。

經濟部長王美花表示，這個合作案對台灣產業有很大的意義，「我們台灣的機械結合了德國創浦集團之後，它可以應用在我們半導體上，可以應用在電子產業上，這個中心會設在我們工研院的南分院，就是六甲分院。工研院可以扮演橋樑，可以扮演技術的協助合作，這是一個非常棒的合作」，也希望這樣的一個結合，讓台灣的機械產業可以升級，甚至非常重要的就是可以用到半導體設備上，讓台灣的半導體設備在全球成為一個非常非常重要的一個基地。

另外王美花還表示，希望藉由創浦帶來先進技術、機械公會帶來客戶，工研院有系統整合的能力，帶起整體產業技術服務能量，強化台南雷射聚落的發展。並且因為高階雷射源設備成本很高，廠商財務負擔大，而且如果要測試開發需要國外原廠配合，往往因為與國外廠商一來一往當中喪失商機。現在，這個中心可以讓有需要導入高階雷射源的業者，可以到這裡打樣測試，縮短距離。

▲經濟部長王美花（右）與台灣機械公會理事長柯拔希（左）出席「台灣半導體與電子產業先進雷射應用服務中心」合作意向書（MOU）簽約儀式。（圖／記者戴玉翔攝影）

機械公會理事長柯拔希表示，2020年受到武漢肺炎（COVID-19、新冠肺炎）疫情影響，全球機械產業皆陷入衰退，台灣機械業 1~7月出口值為144.8億美元，較去年同期減少10.0%。不過，令人驚喜的是檢量測設備較2019年同期成長5.1%，電子設備較上年同期成長2.5%，顯示台灣在半導體電子產業與相關設備仍具全球競爭力。

柯拔希還表示，由於雷射技術可應用於量測、檢測、切割、焊接和各式精微加工應用等，無論是對品質可控的要求、對先進加工和生產效率的需求，還是最終構建成人機互動的智能工廠，對台灣機械產業之長遠發展非常重要，期許未來三方合作提供國內產業應用發展不可或缺的平台，減少各公司重複投資與提升技術研發效率，相信可成為推動台灣製造業轉型升級以及提升產品附加值的重要關鍵技術。

台灣創浦總經理鄭勇志表示，雷射加工相關設備與應用需求愈來愈廣，創浦集團除與國際半導體設備大廠ASML共同合作開發的極紫外光EUV光刻機外，自行研發製造的超快飛秒fs/皮秒ps先進雷射源技術更是在微加工領域獲得國際電子設備大廠採用，是當前「半導體奈米製程競賽」中不可或缺的設備。

鄭勇志還表示，台灣是全球半導體重點市場之一，創浦集團繼今年在南科與合作夥伴共同成立技術培訓中心，此次進一步參與台灣半導體設備產業的合作，將持續為高科技業導入最新雷射技術，期盼透過台德雙方之技術合作，強化台灣國際競爭力，共創新商機。